推板炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺,两个温区独立控制,温区可单独使用,也可提供较大梯度差的温场。硅钼棒、硅碳棒,硅碳棒,电阻丝组合加热,在同一腔体内实现不同的温度差,是CVD工艺的专用理想设备。
今天小编要与大家分享的是推板炉所具备的技术优势:
1、使用安全性
(1)超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
(2)漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。
2、操作便捷性
(1)气路连接方式采用了快速连接法兰结构。
(2)使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作。
(3)取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。
3、结构实用性
(1)炉膛材料采用多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1500度的优质硅碳棒及表面温度1700度的硅钼棒。
(2)密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
(3)两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
(4)采用空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
4、控制智能化
(1)电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定功能,并可编制各种升降温程序。
(2)国产程序控温系统可编辑50段程序控温,进口程序控温系统可编程40段程序控温。
(3)炉内配置有485转换接口,可实现与计算机相互连接。完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
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