从结构上看，
半导体专用氢气发生器是由以下几个部件构成的，分别是电解池、纯水箱、氢/水分离器、收集器、干燥器、传感器、压力调节阀、开关电源，发生器通电后，电解池阴极产氢气，阳极产氧气，氢气进入氢/水分离器，氧气排入大气。氢/水分离器将氢气和水分离，氢气进入干燥器除湿后，经稳压阀、调节阀调整到额定压力(0.02～0.45Mpa可调)由出口输出。电解池的产氢压力由传感器控制在0.45Mpa左右，当压力达到设定值时，电解池电源供应切断；压力下降，低于设定值时电源恢复供电。
作为一种理想的气瓶替代品，半导体专用氢气发生器可提供一定纯度的氢气，消除气体质量变化的风险，发生器一旦安装就不需要离开实验室，为实验室应用提供气体，所有维护都在实验室进行。该发生器还减少了您实验室的碳足迹，因为无需卡车运送更换钢瓶和移除空钢瓶。在使用中，如果出现内部泄漏的情况，半导体专用氢气发生器将停止气体生产并通过人机界面触摸屏提醒实验室人员，这将发出警告和声音警报。如果发生器外部存在泄漏，或超过其容量20分钟，发生器将关闭以防止实验室环境或提供的仪器中积聚氢气。如果内部压力超过120psi，系统也会关闭，非常智能。从以上可以看出，半导体专用氢气发生器的安全性非常高。