德国菲希尔公司的X射线荧光镀层膜厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237是一款应用广泛的能量色散型x射线镀层测厚及材料分析仪。这款仪器专门是为测量分析极薄镀层和超小含量而设计,是用于质量控制,质量检验和生产监控的合适的测量仪器。典型的应用领域有:
1,测量大规模生产的电镀零部件
2,测量微小区域上的薄镀层
3,测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
4,全自动测量,如测量印刷线路板
德国菲希尔公司的X射线荧光镀层膜厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237设计理念:
FISCHERSCOPE X-RAY
XDLM237设计为界面友好的台式测量仪器系列,配备了马达驱动的X/Y工作台,当保护门开启时,工作台会自动移到放置样品的位置。马达驱动的可编程Z轴升降系统。
高分辨率的彩色视频摄像头可方便定位测量位置。配备了激光点,可以辅助定位并快速对准测量位置。
测量箱底部的开槽是专为面积大而形状扁平的样品所设计,由此仪器就可以测量比测量箱更长和更宽的样品。例如:大型的印制电路板。
带有放大功能和十字线的集成视频显微镜简化了样品摆放,并且允许测量点的调整。
所有的仪器操作,以及测量数据的计算和测量数据报表的清晰显示,都可以通过功能强大而界面友好的WinFTM®软件在电脑上完成。
XDLM237型镀层测厚及材料分析仪完全满足DIN ISO 3497标准和ASTM B 568标准,型式许可符合德国“Deutsche Röntgenverordnung-RöV”法规规定。
德国菲希尔公司的X射线荧光镀层膜厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237技术参数规格简介:
通用规格
设计用途
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能量色散X射线荧光镀层测厚及材料分析仪 (EDXRF) 用来测量薄镀层和微小结构, 分析合金和微量组分。
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元素范围
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从元素 氯(17) 到 铀(92) 配有可选的WinFTM® BASIC软件时,多可同时测定24种元素
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形式设计
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台式仪器,测量门向上开启
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测量方向
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从上到下
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德国菲希尔公司的X射线荧光镀层膜厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237X射线源
X射线管
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带铍窗口的微聚焦钨管
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高压
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三档: 30 kV,40 kV,50 kV
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孔径(准直器)
标准(523-440)
可选(523-366)
可选(524-061)
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4个可切换准直器
[mm]: Ø0.1, Ø0.2,
0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: Ø0.1, Ø0.2, Ø0.3, 0.3x0.05 [mm]: Ø0.1, Ø0.2, 0.3 x
0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制
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基本滤片
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3种可切换的基本滤片(标准配置:镍,铝,无)
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测量点
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取决于测量距离及使用的准直器大小, 实际的测量点大小与视频窗口中显示的一致 小的测量点大小: 光圈约Ø 0.1
mm(选用准直器0.05x0.05 mm时)
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X射线探测
X射线接收器
测量距离
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比例接收器
0 ~ 80 mm,使用保护的DCM测量距离补偿法
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视频系统
视频系统
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高分辨率CCD彩色摄像头,沿着初级X射线光束方向观察测量位置 手动聚焦,对被测位置进行监控 十字线(带有经过校准的刻度和测量点尺寸) 可调节亮度的LED照明,激光光点用于定位样品
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放大倍数
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40x - 160x
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电气参数
电源要求
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交流 220 V 50 Hz
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功率
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大 120 W (不包括计算机)
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保护等级
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IP40
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尺寸规格
外部尺寸
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宽x深x高[mm]:570 x 760 x 650
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内部测量室尺寸
重量
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宽x深x高[mm]:460 x 495 x 146
120kg
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工作台
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设计
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马达驱动可编程X/Y平台
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大移动范围 255 × 235 mm
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X/Y平台移动速度 ≤ 80 mm/s
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X/Y平台移动重复精度 ≤ 0.01 mm, 单向
可用样品放置区域 300 × 350 mm
Z轴 可编程运行
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Z轴移动范围 140 mm
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样品大重量 5 kg,降低精度可达20kg
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样品大高度 140 mm
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环境要求
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使用时温度
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10°C – 40°C
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存储或运输温度
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0°C – 50°C
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空气相对湿度
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≤ 95 %, 无结露
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计算单元
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计算机
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带扩展卡的计算机系统
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软件
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标准: WinFTM® V.6 LIGHT 可选: WinFTM® V.6 BASIC,PDM®,SUPER
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执行标准
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CE合格标准
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EN 61010
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X射线标准
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DIN ISO 3497和 ASTM B 568
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型式批准
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**而保护**的测量仪器, 型式许可符合德国“Deutsche Röntgenverordnung-RöV”法规规定。
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德国菲希尔公司的X射线荧光镀层膜厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237订货号
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FISCHERSCOPE
X-RAY XDLM 237
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604-347
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如有特殊要求,可与FISCHER磋商,定制特殊的XDLM型号。
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其他检测仪器:铁素体测量仪SP10a、推拉力计HF系列、高温耦合剂sono950