api xd laser美国激光干涉仪
API公司XD系列激光干涉仪型号:
一维测量系统XD –1D标准型&精密型
三维测量系统XD –3D
五维测量系统XD –5D标准型&精密型
六维测量系统XD –6D 标准型&精密型
激光干涉仪介绍:
1D激光主要可以测量定位误差
3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
技术参数:
5D/6D标准型:
1. 线性:0.5ppm .
2. 测量范围:40米(1D可选80米)
3. 线性分辨力:0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5. *大范围:800角秒
6. 滚动角精度:1.0角秒
7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8. 直线度*大范围:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 温度精度:0.2摄氏度
11.湿度精度:5%
12.压力精度:1mmHg
不同检测方法效率比较:
| 普通方法 | 使用XD激光干涉仪 | 使用AP|空间误差补偿技术(VEC) |
需要测量的误差参数 | 15 | 20 | 21 |
需安装仪器次数 | 15 | 3 | 1 |
测量所需时间(设每次安装为1 . 5小时 | 22.5小时 | 4.5小时 | 1.5小时 |
测量机床全部误差所用的时间越短,越能够反映所测机床的真实情况。当用传统干涉仪测量时,因在测量各项指标时更换光学镜调整光路上要浪费大量的时间,难以保证机床检测数据的稳定性和重复再现性。XD系列激光干涉仪约在2000年进入中国市场,结合激光干涉技术和光电自准直技术:不仅可用于精度的终评价, 也可用于机床的安装调整。XD Laser 激光干涉仪是API公司的产品。-次安装即可以测得6个参数.包括1个位置度误差. 2个直线度误差和3个角度误差。通常时间需数天进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成。实际应用结果表明:可节省时间高达80%。
良好的结构设计
API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计,将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开,从而避免了干涉镜受热变形,用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连,从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后,使得干涉镜不受影响,保证了测量准确性。
主要特性:
一次安装能测量6项精度指标包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动角
把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
两点调光线.无需三脚架. 测量调整简单快速
传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴),约需3天的时间;API干涉仪只约需半天!
测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试
机床主要误差:
激光干涉仪 ↓ 几何误差(21项:线性定位误差 直线度误差(XX及YY方向) 垂直度 偏摆角(A) 俯仰角(B) 滚动角(C) | | 主轴测量系统: ↓ 温升热变性误差: 主轴温升 导轨温升变性 切削热变性 操作误差:刀具安装 工件定位 切削速度 |
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