Wafer XRD
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 馬爾文帕納科
- 品牌 馬爾文帕納科
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/25 17:04:31
- 訪問次數(shù) 850
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 單晶衍射儀 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測(cè)量速度：每個(gè)樣品＜10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差（傾斜度）：例如Si 100＜0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管（**30W）或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管（**1.5kW）
符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石（Al?O?）、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍：0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓