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SOPHI-400 離子注入設備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
  • 型號 SOPHI-400
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/9/6 11:12:16
  • 訪問次數(shù) 367
產(chǎn)品標簽

離子注入設備SOPHI-400

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

      離子注入設備,又稱為離子注入機,是半導體制造中的關鍵設備之一。它通過將可控數(shù)量的離子(如硼、磷、砷等)加速并注入到半導體材料(如硅片)的特定區(qū)域,以改變其電學性能,實現(xiàn)摻雜的目的。離子注入技術具有精確控制摻雜深度、濃度和橫向分布的能力,是現(xiàn)代集成電路制造中一環(huán)。

離子注入設備主要由離子源、離子引出和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔等部分組成。離子源負責產(chǎn)生所需的離子,經(jīng)過質(zhì)量分析器篩選后,由加速管加速至幾百千電子伏特的能量,最后通過掃描系統(tǒng)均勻地注入到硅片表面。工藝腔則提供了一個真空環(huán)境,確保離子注入過程的順利進行。

2 設備用途:

離子注入設備在半導體制造領域具有廣泛的用途,主要包括以下幾個方面:

  1. 集成電路制造:在制造集成電路的過程中,離子注入技術用于形成晶體管的源極、漏極和溝道等關鍵區(qū)域,以及實現(xiàn)電路的隔離和互聯(lián)。

  2. 金屬材料表面改性:通過離子注入技術,可以在金屬材料表面形成一層具有特殊性能的改性層,如提高耐磨性、耐腐蝕性和硬度等。

  3. 薄膜制備:離子注入技術還可以用于制備具有特定性能的薄膜材料,如超導薄膜、光學薄膜等。

3 設備特點

離子注入設備具有以下幾個顯著特點:

  1. 精確控制:離子注入技術可以精確控制摻雜離子的種類、數(shù)量、深度和橫向分布,滿足集成電路制造中對摻雜精度的要求。

  2. 低溫處理:與傳統(tǒng)的熱擴散工藝相比,離子注入技術可以在較低的溫度下進行,避免了高溫處理對半導體材料性能的影響。

  3. 廣泛應用:離子注入技術不僅應用于半導體制造領域,還擴展到金屬材料表面改性、薄膜制備等多個領域。

4 技術參數(shù)和特點:

基板尺寸:Max200mm

大能量:2400 keV

枚葉式

可對應薄片Wafer

平行Beam


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