PI(Physik Instrumente)定位器
P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
· X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米
· 電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米
· 帶直接驅(qū)動(dòng)器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)
· 導(dǎo)向誤差主動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量
· 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
· 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用
PI(Physik Instrumente)定位器
應(yīng)用領(lǐng)域
· 掃描顯微鏡
· 共聚焦顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 表面測(cè)量技術(shù)
· 納米壓印
· 顯微操縱
· 圖像處理/穩(wěn)定
· 高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位
PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。