德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)
：PI (Physik Instrumente)
公司簡(jiǎn)介：
德國(guó)PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
醫(yī)學(xué)工程
生物技術(shù)
工廠工程
表面計(jì)量
天文學(xué)
德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)
P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)
§ 行程為50至1800微米
§ 分辨率達(dá)0.1納米
§ 定位精度 0.02 %
§ 帶電容式傳感器的直接計(jì)量
§ X、XY、Z和XYZ型
帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)chong擊和振動(dòng)不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
直接位置測(cè)量帶來大精度
運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，*不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。
德國(guó)PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺(tái)