目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測量>>晶圓翹曲度測量儀>> FPACT-Bimorph-Mirrors壓電雙晶片變形鏡是可變形反射鏡
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,航天 |
|---|---|---|---|
| 變形范圍 | 50um |
壓電雙晶片變形鏡采用Bimorph Mirrors技術工藝提供可變形反射鏡DM功能,廣泛用于激光光束像差控制和天文光學像差控制。
壓電雙晶片變形鏡規(guī)格標準
•基片材料可提供石英,玻璃或硅雙晶片
孔徑10-500 mm
•變形行程-高達40μm
•控制電極數量-1-128
•頻率范圍-高達5 KHz
•滯后-12%
•激光損傷閾值-玻璃激光為20J/cm2，TiS激光為3J/cm2
•反射膜-保護性鋁，保護性銀，金屬介質膜，多層介質膜（給定波長反射率ρ≥99%）等。
水冷型壓電雙晶片變形鏡：
•材料-銅、硅
•孔徑20-100 mm
•變形行程-高達15μm
•損傷閾值-CO2激光為10kW/cm2，玻璃激光為50kW/cm2
•控制電極數量-最多32個
•頻率范圍-高達4 KHz
•反射膜鍍膜：按客戶要求
每個壓電雙晶片變形鏡都配有控制單元的電子模塊，通過USB端口或ISA I/O卡與標準PC機相連。包括標準軟件。根據請求，主動壓電雙晶片變形鏡可通過傾斜校正器或傾斜保持架進行補充。