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LR180/LR421-TULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
| 參考價(jià): | ￥ 6210 |
| 訂貨量: | 1臺(tái) |
- LR180/LR421-T 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：173更新時(shí)間：2024-04-26 14:05:38
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-3萬(wàn) | 儀器種類(lèi) | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合 | 供貨號(hào) | 137.1702.5688 |
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
產(chǎn)品介紹
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
特點(diǎn)
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。瞬停對(duì)策
采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）
規(guī)格
| 型號(hào) | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
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