SF6六氟化硫作业安全防护，主要分两个方面考虑，一是在正常运行情况下，严格控制工作场所空气中SF6六氟化硫及其分解产物的浓度；二是在事故情况下，做好呼吸系统及皮肤的防护。具体安全防护注意事项如下：
1、装有SF6设备的配电装置室和SF6气体实验室，应装设强力通风装置，风口应设置在室内底部，排风口不应朝向居民住宅或行人。
2、在室内，设备充装SF6气体时，周围环境相对湿度应不大于80％，同时应开启通风系统，并避免SF6气体泄漏到工作区。工作区空气中 SF6气体含量不得超过 1000L/L
3、主控制室与SF6配电装置室间要采取气密性隔离措施。SF6配电装置室与其下方电缆层、电缆隧道相通的孔洞都应封堵。SF6配电装置室及下方电缆层隧道的门上，应设置“注意通风”的标志。
4、SF6配电装置室、电缆层（隧道）的排风机电源开关应设置在门外。
5、在SF6配电装置室低位区应安装能报的氧量仪或SF6气体泄漏报仪，在工作人员入口处也要装设显示器。这些仪器应定期试验，保证完好。
6、工作人员进入SF6配电装置室，入口处若无SF6气体含量显示器，应先通风15min，并用检漏仪测量SF6气体含量合格。尽量避免一人进入SF6配电装置室进行巡视，不准一人进入从事检修工作。
7、工作人员不准在SF6设备防爆膜附近停留。若在巡视中发现异常情况，应立即报告，查明原因，采取有效措施进行处理。
8、进入SF6配电装置低位区或电缆沟进行工作，应先检测含氧量（不低于18％）和SF6气体含量是否合格。
9、在打开的SF6电气设备上工作的人员，应经专门的安全技术知识培训，配置和使用必要的安全防护用具。
10、设备解体检修前，使用便携式气体检测仪对SF6气体进行检验。根据有毒气体的含量，采取安全防护措施。检修人员需穿着防护服并根据需要配戴防毒面具。打开设备封盖后，现场所有人员应暂离现场30min。取出吸附剂和清除粉尘时，检修人员应戴防毒面具和防护手套。
11、设备内的SF6气体不得向大气排放，应采取净化装置回收，经处理合格后方准使用。回收时作业人员应站在上风侧。设备抽真空后，用高纯度氮气冲洗3次。将清出的吸附剂、金属粉末等废物放入20%氢氧化钠水溶液中浸泡12h后深埋。
12、从SF6气体钢瓶引出气体时，应使用减压阀降压。当瓶内压力降至9.8X104Pa（个大气压）时，即停止引出气体，并关紧气瓶阀门，戴上瓶帽。
13、SF6配电装置发生大量泄漏等紧急情况时，人员应迅速撤出现场，开启所有排风机进行排风。未配戴隔离式防毒面具人员禁止入内。只有经过充分的自然排风或恢复排风后，人员才准进入。发生设备防爆膜破裂时，应停电处理，并用汽油或丙酮擦拭干净。
14、进行气体采样和处理一般渗漏时，要戴防毒面具并进行通风。
15、SF6断路器（开关）进行操作时，禁止检修人员在其外壳上进行工作。
16、检修结束后，检修人员应洗澡，把用过的工器具、防护用具清洗干净。
17 SF6气瓶应放置在阴凉干燥、通风良好、敞开的专门场所，直立保存，并应远离热源和油污的地方，防潮、防阳光曝晒，并不得有水分或油污粘在阀门上。
搬运时，应轻装轻卸。
