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      超純氨氣
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      超純氨氣

      超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反應為:750—850℃:SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2,850—900℃:3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導體制造用量不大,但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料
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      超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反應為:750—850℃:SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2,850—900℃:3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導體制造用量不大,但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料

       

      吉安市吉州氣體有限公司

      關鍵詞:
      原材料
      850
      制造
      3sicl4+4nh3---si3n4+12hcl
      半導體
      十分重要
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