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嵌入式膜厚檢測儀

嵌入式膜厚檢測儀

產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號) 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設(shè)備。 實時測量膜厚 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量...

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產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品信息
  • 設(shè)備構(gòu)成
  • 測量案例

產(chǎn)品信息

  特 點

●采用分光干涉法

●搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號)

●使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

●可嵌入至各種制造設(shè)備。

●實時測量膜厚

●可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量

●采用壽命長、安全性高的白色LED光源


  測量項目

●多層膜厚解析


  用 途

●光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

●FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)


設(shè)備構(gòu)成

  單點型

1.jpg

●半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

●玻璃基板的面內(nèi)分布測量


  多點型

2.jpg

●實時測量

●流向品質(zhì)管理

●真空室適用


  導(dǎo)線型

3.jpg

●實時測量

●寬度方向品質(zhì)管理


測量案例

  超硬涂層的膜厚解析




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