.NM     绝对⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1        运动⽅向

X   Y

2        外形尺⼨

250 mm × 200 mm × 30 mm

3        必须安装空间

325 mm × 250 mm

4        有效穿孔

85 mm × 65 mm

5        主体材料

铝合⾦

6        线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7        ⼯作温度

10 – 40 °C

运动参数-空间推荐安装形式 I.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

8        运动⾏程

75 mm × 50 mm

9        最⼤速度

~ 20 mm/s

10       最⼩步伐

~ 30 nm

11       驱动频率

Max. 20 kHz   (超安静运动)

12       最⼤负载

2 kg

13       全⾏程俯仰/偏摆

0.8 mrad

传感精度

14       位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

- 光栅尺传感( .O )

75 mm × 50 mm

15       位置传感量程

- 电阻型传感( .R )，   100-200 nm

- 光栅尺传感( .O )，   10 nm，   1nm可选(默认 10nm)

16       位置传感分辨率