产品资料
Nordson March AP1000 等离子清洗机
产品型号:AP1000 Plasma
简介介绍:

在微电子加工过程中,特别是在芯片贴装和丝线键合的过程中,需要对表面轻微有机污染或氧化物进行清洗,在这种场合下,需要用等离子清洗的方法进行清洗。美国MARCH 公司的等离子清洗设备在以下器件的制造过程中能起到很好地清洗作用:光电器件、微波器件、混合电路、MEMS器件、RF模块、功率器件、传感器、半导体器件、LED、分立元器件、纳米器件、声表器件。

详情介绍

Nordson March AP1000 等离子清洗机是专门设计适应24小时生产的严格要求的情况。此系统提供统一的等离子体,具有优良的可靠性、操作简单等优点。AP-1000平台是完全独立的。泵、处理腔体、电子控制和13.56MHz电源供应都被安装在一个单一的外壳内。前面开门使得存取组件都很便利。泵安装在便于拆卸的滚筒上。
带有HTP(高吞吐量)架选项的AP-1000等离子系统结合了可靠性和生产品质,证明March 砖利的HTP架的优势。AP-1000 HTP优化在RF激励源产生的离子的应用,使在减少过程时间的时候,提高处理的一致性。
Nordson March AP1000 等离子清洗机 HTP允许选择一系列工艺气体,例如氩气、氢气和氦气等。它装备4个质量流量控制器以达到工艺气体控制。带有槽的M/G制具垂直安装在处理腔体中。出色的是,每块M/G制具可*小支撑20个框架。处理腔体*多可装12个M/G制具,这有M/G制具的尺寸决定

Nordson March AP1000 等离子清洗机特征与优势

触摸屏的PLC控制,提供了形象的图形界面和实时过程显示;

实时显示工艺过程,数据时时可调, 可存64个程序;

四种清洗模式:强洗、弱洗、无电子清洗、取胶;

可用来清洗敏感,易粹器件;

灵活的支架结构允许处理多种部分,在水平或竖直模式下;

13.56MHz的电源具有自动阻抗匹配功能,因此具有出色的过程重复性;

砖利的控制软件系统为统计过程控制产生过程和产品的数据;

双重真空吸尘,强力清洗,铝制清洗室,免污染。

专注为电子制造商提供如下SMT设备:

锡膏印刷机锡膏测厚仪SPI、SMT贴片机HELLER回流焊、光学检测AOI、X-Ray X光射线检测机、等整条SMT生产线设备,以及服务和解决方案

专注为封测厂提供如下半导体封测设备:

DieBond固晶机、DieAttach晶圆贴片机粘片机、WireBond焊线机引线键合机、Molding塑封机、WaferGrinding研磨机、WaferSaw切割机、X-RayDageX光检测机、BondTest推拉力测试机、Plasma等离子清洗机、C-SAM超声波扫描、原子力显微镜、先进封装电镀等设备

提供从IC Design→Fabless→封装测试→SMT表面组装的整套集成电路电子制造的行业资源,设备及解决方案



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