PEO系列除了有节省空间的优点之外还有在待机的情况下周围环境零能耗的特点。设备另一个独特之处在于:使用方便更换的嵌套管即可实现同一台设备上不同工艺的切换,且相互之间无交叉污染。为了达到具佳的温度均匀性,ATV采用了14个Kanthal加热元件,它们分别位于石英管的周围,前端和后端,并且都由PID独立控制。ATV丰富的经验和专业的工艺知识突出了我们为半导体和微电子行业提供性能具佳的设备和服务的理念。
我们的研发团队和售后团队致力于帮助我们的用户从对ATV设备的投资中获得良好的回报。ATV的目标是以超过40年在全球范围内得到验证的技术理念为核心竞争力,使设备获得具佳的工艺结果。

PE0-604 
设备技术参数

• 外形尺寸： 800 x 1900 x 1400mm (长x宽x高） [>重蛋： 475 Kg 
• 石英管直径230mm(9")
• 标准产品温度： 1,000°C/1, 100°
• 等温区： 50片晶圆。
• 电源： 3Phases, 230/400V, 32/63A, 21/42 KW
• 一般应用
• CVD, PVD, LPCVD, MOCVD [> Si3凡Poly Si 
•  Si Ep i taxy 
• TEOS,LTO 
• 碳纳米管， 硅纳米线， 石墨烯 
• 气体／固体源扩散
• 湿法／干法氧化
• VCSEL氧化工艺
• Trans LC 
• SiAI/SiAu/SiMo合金化处理
• 退火：惰性气体
• 聚酰亚胺， 固化/烘烤 
• LTCC烧结， 厚膜烧结