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特长
适用于半导体制造设备。
拥有丰富的吸盘尺寸、吸盘材料、吸盘架形状。
吸盘尺寸：6种。
吸盘材料：10种。
吸盘架形状：6种。
可选择弹簧式吸盘架的行程。
弹簧式吸盘架提供低发尘型产品。
与以往的弹簧式吸盘架相比发尘量较低。
噪音等级实现了45dB的低噪音。
可连接的吸盘尺寸：φ0.7～φ4mm
行程可选2、5、10、15mm。
提供需要对应「不使用铜系金属」与「对应低浓度臭氧环境」的吸盘架。
-S3规格:金属部材料不使用黄铜，密封橡胶材料采用HNBR或FKM。
规格
吸盘材料
| 材料 | 丁腈橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟橡胶、导电性硅橡胶、导电性顺丁橡胶(低电阻型)、导电性NBR(低电阻型)、符合日本食品安全法NBR、HNBR、EPDM |
|---|
※1)导电性硅橡胶的材料为可引导排除静电的硅橡胶。(体积电阻率：105Ω·cm以下)
※2)导电性顺丁橡胶（低电阻型）的材料为顺丁橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※3)导电性NBR(低电阻型)的材料为丁腈橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※4)吸盘橡胶材料为丁腈橡胶（N）、符合日本食品卫生法的NBR（G）、导电性NBR（低电阻型）（NE）的产品不适用于以对应低浓度臭氧为目的的场合。
吸盘架种类
| 固定式真空导出口 顶端 | VPMA(迷你型) |
|---|---|
| 固定式真空导出口 侧端 | VPMB(迷你型) |
| 固定式直接安装型 | VPME(迷你型) |
| 弹簧式真空导出口 顶端 | VPMC(迷你型)／VPLFC(低发尘型) |
| 弹簧式真空导出口 侧端 | VPMD(迷你型) |
特长
适用于半导体制造设备。
拥有丰富的吸盘尺寸、吸盘材料、吸盘架形状。
吸盘尺寸：6种。
吸盘材料：10种。
吸盘架形状：6种。
可选择弹簧式吸盘架的行程。
弹簧式吸盘架提供低发尘型产品。
与以往的弹簧式吸盘架相比发尘量较低。
噪音等级实现了45dB的低噪音。
可连接的吸盘尺寸：φ0.7～φ4mm
行程可选2、5、10、15mm。
提供需要对应「不使用铜系金属」与「对应低浓度臭氧环境」的吸盘架。
-S3规格:金属部材料不使用黄铜，密封橡胶材料采用HNBR或FKM。
规格
吸盘材料
| 材料 | 丁腈橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟橡胶、导电性硅橡胶、导电性顺丁橡胶(低电阻型)、导电性NBR(低电阻型)、符合日本食品安全法NBR、HNBR、EPDM |
|---|
※1)导电性硅橡胶的材料为可引导排除静电的硅橡胶。(体积电阻率：105Ω·cm以下)
※2)导电性顺丁橡胶（低电阻型）的材料为顺丁橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※3)导电性NBR(低电阻型)的材料为丁腈橡胶。(体积电阻率：200Ω·cm以下)
※4)吸盘橡胶材料为丁腈橡胶（N）、符合日本食品卫生法的NBR（G）、导电性NBR（低电阻型）（NE）的产品不适用于以对应低浓度臭氧为目的的场合。
吸盘架种类
| 固定式真空导出口 顶端 | VPMA(迷你型) |
|---|---|
| 固定式真空导出口 侧端 | VPMB(迷你型) |
| 固定式直接安装型 | VPME(迷你型) |
| 弹簧式真空导出口 顶端 | VPMC(迷你型)／VPLFC(低发尘型) |
| 弹簧式真空导出口 侧端 | VPMD(迷你型) |
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公司邮箱：yl.wang@mggqh.com
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