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操作步驟：

◆插上電源，氣管快速接頭接上高壓氣管；

◆打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，將溫度設定于60℃(不同晶片膜溫差異士5℃);

◆將上氣缸開(kāi)關(guān)撥至“上升”位置，上壓?；刂磷钌戏?，將下氣缸開(kāi)關(guān)撥至下降位置，下壓?；刂磷钕路?反復幾次下氣缸動(dòng)作，將上升速度調整至適合速度)

◆松開(kāi)鎖扣，掀起上工件板，先將擴晶環(huán)內環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。

◆將下氣缸開(kāi)關(guān)撥至“上升”位置，下壓模徐徐上升，薄膜開(kāi)始向四周擴散，晶粒間隔逐漸拉大，當晶片間隔擴散至原來(lái)的2~3倍時(shí)既停止上升，將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內環(huán)正上方。

◆將上氣缸開(kāi)關(guān)撥至“下降”位置，上壓模下降，將擴散后的翻晶膜套緊定位上壓?；刂磷钌戏?。

◆將下氣缸開(kāi)關(guān)撥至“下降”位置，下壓模下降至最下方，取出擴晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。

注意事項：

◆氣缸工作時(shí)切勿將手接近或放入壓合面；

◆下壓模表面切勿用銳器敲擊，磨擦，以免形成傷痕；

◆機器安裝時(shí)，應正確可靠接地；

◆機箱內電源危險，箱門(mén)應鎖緊；

◆更換加熱管或其它電器元件時(shí)，需在電源插頭拔下時(shí)方可進(jìn)行；

◆切勿用帶水或溶劑的抹布擦拭機器，以免產(chǎn)生漏電或燃燒危險。

維護保養：

◆用干凈布塊擦拭附著(zhù)灰塵，活動(dòng)部位定期涂少許機油潤滑；

◆放置翻晶膜的位置必須干凈，附著(zhù)的油脂及灰塵會(huì )污染晶片，造成不良品產(chǎn)生。

買(mǎi)家須知

一、關(guān)于色差

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